TSV�iThrough Silicon Via�FSi�ђʓd�Ɂj�Ƃ́A�`�b�v�ɏ����ȍE���J���A�����ɋ������[�U���邱�Ƃɂ���āA�T���h�C�b�`��ɐςݏd�˂������̃`�b�v��d�C�I�ɐڑ��� ��O�����X�^�b�N�p�b�P�[�W�Z�p�ł��B

�����̃`�b�v�����C���{���f�B���O�Őڑ�����]���̎�@�ɔ�ׂāA�z��������啝�ɒZ�k�ł��邽�߁A�������A�ȓd�͉��A���^���Ȃǂ̖ʂő傫�ȃA�h�o���e�[�W�𔭊����܂��B

�G���s�[�_�������ł́A2004�N��NEDO�i�Ɨ��s���@�l�V�G�l���M�[�E�Y�ƋZ�p�����J���@�\�j�̏����ɂ��J�����X�^�[�g�A�H�c�G���s�[�_���Q�悵����TSV�Z�p�̊J���Ɏ��g�݁A1G�r�b�gDDR3 SDRAM��8���ϑw�A�C���^�t�F�[�X�w�ƍ��킹�A9�w�\����8G�r�b�gDDR3 SDRAM�̊J���ɐ������܂����B

�G���s�[�_�������i���j�j���[�X�����[�X�i2009�N8��27���j

�]���̓`�b�v���d�˂�ۂɃ��C���œd�ɂ��‚Ȃ��ł��܂������ATSV�ɂ���Ɠd�ɐ������I�ɑ��₹��ƂƂ��ɔz��������Z�k���邱�Ƃ��ł��邽�߁A�������x��ȃG�l���\�̌��オ���҂ł��܂��B

�܂��ATSV�̓��W�b�N�����̂Ƃ̑g�����ł��������@�\���サ�܂��BDRAM�ȊO�̃`�b�v���ꏏ�ɐςݏd��1�‚̐��i�Ƃ��ăp�b�P�[�W���邱�ƂŁA���܂��܂ȉ�H��1���̃`�b�v��ɉ��H�����V�X�e��LSI�i��K�͏W�ω�H�j�Ɠ����@���‚ƂƂ��ɁA�`�b�v��ɂ����‚��̉�H�𖳗����l�ߍ��ނ����i�i�ɐ��\���オ���҂ł��܂��B